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一种高精度、高密封的无尘车间

文章来源:http://www.stayhardinfo.com/  2018年07月23日  点击数:883
技术领域
本发明涉及生产车间制造技术领域,尤其涉及一种高精度、高密封的无尘车间
背景技术
无尘车间是指在一定空间范围内将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物减少到规定指标下,将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化,其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温温度及压力等性能。洁静度一级表示每立方英尺室内的空气所含有大或等于0.5 um 的灰尘粒子不超过1 颗;洁净室10 级则为不超过10 颗;洁净室100 级、1000 级...依次类推。
我国净化行业原先所安装的百级洁净室,主要适用于医药生产企业,洁净室的温湿度是由组合式净化空调器控制和调节的。然而,随着科技日新月异的发展,尤其是集成电路生产技术的发展,集成电路芯片生产的线宽由0.45 微米发展到0.11 微米,甚至由微米级向纳米级发展,温度的变化可能影响生产工艺,导致成品率下降;同时,由于其生产工艺对洁净度的要求很高,使得其洁净室内排风量比较大。因此,这种洁净室需要通过高精度的温度控制,未消除温度变化对生产的影响。如果用传统的组合式空调器调温的方式,要达到洁净室内高精度的温度及洁净度的控制是很困难的。
发明内容
本发明的目的在于克服上述技术的不足,而提供一种无尘车间,高精度、高密封。
本发明为实现上述目的,采用以下技术方案:一种无尘车间,其特征在于:包括密封车间、空气循环机组、送风管路和排风管路,所述密封车间的两侧墙体的内侧设有排风通道,所述排风通道上设有与所述密封车间内部连通的排风口,所述排风通道与所述排风管路连通,所述排风管路与所述空气循环机组连通;所述送风管路一端与设置在车间吊顶上的送风口连通,另一端与所述空气循环机组连通;所述密封车间内设有二次洁净室,所述二次洁净室的顶部及四周由钢化玻璃围城,二次洁净室由支撑柱支撑距离地面20cm-30cm,二次洁净室的顶部设有送风口,所述送风口与所述送风管路连通。
所述四面墙体采用两层夹板中间内衬阻燃芯材。
所述密封车间的地面采用防静电PVC地板或环氧树脂涂层地板。
所述排风口上设有排风百叶。
本发明的有益效果是: 本发明结构简单,通过空气循环机组对车间内进行气体的交换,大大保证了室内空气的洁净度,由于在洁净室内部再设置一个二级洁净室,二级洁净室采用钢化玻璃制造,底部通过支撑柱支撑距离地面一定高度,保证了二级洁净室中空气有效的循环,进一步提高了二级洁净室的洁净等级。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图中:1、密封车间;2、空气循环机组;3、送风管路;4、排风管路;5、排风通道;6、排风口;7、送风口;8、二次洁净室;9、支撑柱;10、送风口。
具体实施方式
下面结合附图及较佳实施例详细说明本发明的具体实施方式。如图1所示,一种无尘车间,包括密封车间1、空气循环机组2、送风管路3和排风管路4,所述密封车间的两侧墙体的内侧设有排风通道5,所述排风通道上设有与所述密封车间内部连通的排风口6,所述排风通道与所述排风管路连通,所述排风管路与所述空气循环机组连通,所述送风管路一端与设置在车间吊顶上的送风口7连通,另一端与所述空气循环机组连通,吊顶采用彩钢板。所述密封车间内设有二次洁净室8,所述二次洁净室的顶部及四周由钢化玻璃围城,二次洁净室由支撑柱9支撑,距离地面20cm-30cm,二次洁净室的顶部设有送风口10,所述送风口与所述送风管路连通。所述四面墙体采用两层夹板中间内衬阻燃芯材。所述密封车间的地面采用防静电PVC地板或环氧树脂涂层地板。所述排风口上设有排风百叶。
本发明在使用时,空气进入空气循环机组,空气循环机组将空气内的灰尘滤除掉后,将净化空气通过送风管路输送到排风口进入到车间内部,无尘车间内的空气经排风口 传输至排风管路内,再进入空气循环机组,形成流动气流。
本发明结构简单,通过空气循环机组对车间内进行气体的交换,大大保证了室内空气的洁净度,由于在洁净室内部再设置一个二级洁净室,二级洁净室采用钢化玻璃制造,底部通过支撑柱支撑距离地面一定高度,保证了二级洁净室中空气有效的循环,进一步提高了二级洁净室的洁净等级。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

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